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PSM 金刚石微粉

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类型:微米级和亚微米级合成金刚石微粉

描述:PSM是一种微米级的金刚石微粉,呈现出均匀的块状形状,具有高长径比,能有效加工碳化硅及其他硬质半导体衬底,可为整个电子行业中晶圆材料的制造提供所需的精度与一致性。

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技术详情

 

PSM是一种均匀的块状金刚石超级磨料,旨在为整个电子行业中所运用的粗磨、精磨、切割以及切片等各类应用提供更为稳定且精准的工具性能。

PSM金刚石有着独特的形状,并且其尺寸受到严格控制,使其能够更好地承受严苛应用环境的考验。这样的特性可实现切削力的均匀分布,从而降低发生脆性断裂的概率。在高速切片工序中,这一点显得尤为关键,毕竟在此过程中,切削所产生的冲击力会对刀片造成严重磨损,进而影响切割质量。

PSM还能提升硬质衬底晶圆的表面光洁度。其稳定的切削作用可将表面粗糙度及亚表面损伤降至最低,从而使待研磨和抛光的晶圆表面更加光滑、更为均匀。

 

粒度分布窄有助于提高工具使用效率

 

PSM金刚石微粉形状均匀且呈块状,凭借严格的尺寸控制以及专有的分级工艺,PSM为工具制造商提供了粒度分布更窄的产品,进而产生了更多有效的切削颗粒。这些切削颗粒提升了工具在加工最具挑战性的衬底材料时的效率,延长了工具的使用寿命,提高了产量,同时凭借更好的加工表面质量和更少的缺陷,缩短了工具后续的加工时间。

 

最大限度减少硬质衬底晶圆上的崩边、划痕和缺陷

 

工具制造商力求在晶圆制造流程的每一个环节中,实现材料的稳定去除,同时将表面损伤控制在最低限度。凭借海博锐强化的分级和过滤技术,以及始终保持块状的晶体特性,PSM经过专门设计,旨在助力工具制造商在整个制造过程中最大限度地减少缺陷。PSM能提供从亚微米到粗粒度的多种规格产品,其金刚石粉末始终呈现块状,具有高长径比,并且在超大尺寸方面有着出色的控制能力。这使得因有棱角的晶体而造成的亚表面损伤或崩边现象得以减少。通过尽可能减少崩边和缺陷,PSM可提升加工能力,让每一片晶圆都能获得高质量的表面光洁度,最终帮助终端用户避免因缺陷而带来的高昂成本。

主要应用和行业

 

PSM旨在提升整个晶圆制造流程各环节的性能,增强对碳化硅、硅、氮化镓、砷化镓以及蓝宝石等难加工衬底应用的生产能力。PSM可适配各类工具,包括切片与切割所用的刀片、边缘修整工具以及表面研磨轮等。

工具制造商依靠PSM为终端用户提供高质量的工具,以实现卓越、精准的表面处理效果,同时将表面损伤程度降到最低。PSM金刚石微粉正助力满足电子行业不断变化的需求,持续探寻生产晶圆的更优方法。

PSM金刚石微粉图表

 

PSM Diamond Powder Chart

 

PSM产品系列

 

 

精细粒度

 

  • 0-0.5
  • 0-1
  • 0.5-1.5
  • 1-1.5
  • 1-2
  • 0.5-3
  • 1-3

中等粒度

 

  • 2-4
  • 3-5
  • 4-6
  • 4-8
  • 5-10
  • 5-12

粗粒度

 

  • 8-16
  • 10-20
  • 15-25

上述粒度规格属于标准规格。若有其他定制粒度规格需求,可在与海博锐进行沟通后提供。如需了解相关事宜,请联系您当地的销售代表进行咨询。